墨粉中总挥发性有机化合物（TVOC）热解析方案

广州踏实德研仪器有限公司

半导体，化工材料制造检测中也多用到热解吸仪设备n案列：丙烯酸胶带用于半导体制造工艺中。对在半导体制造中使用的丙烯酸类胶带，通过释放气体分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加热过程中有恶臭味的瑕疵品和良品，并分析瑕疵品中产生气味的原因。n在半导体器件和化学品制造的分析中，痕量元素杂质的控制对于性能具有至关重要的作用，甚至影响半导体产品的良品率。n半导体制造商需要在整个制造过程中拥有检测超痕量污染物的能力，包括晶圆、超纯水、化学试剂、光刻胶、电子特气、封装材料等。n半导体工艺的进步，对元素杂质和微粒污

发布时间： 2023-04-17

阅读数量 (271)