热解吸气相色谱法测大硅片表面的有机污染物

广州踏实德研仪器有限公司

半导体行业使用的有机试剂也会产生相应的挥发性有机物，对生产和环境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃尔默公司热脱附仪与气相色谱质谱联用，可实现洁净室或生产区域内空气的在线或离线采集进样，并检测出低浓度（&lt；ppb）的有机污染物

发布时间： 2023-04-18

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